低TCR的标准电阻器

　　精密系统要求在温度偏差上具有最低温度变化的影响和拥有温度偏差调整功能。但不幸的是，使用在这些精密系统中的电阻器和其他电压或电流校准技术有一个电阻温度系数(TCR)，而TCR是典型的不可测量和平衡的。在片级产品上，通常温度平衡方法是采用薄膜激光平衡或低熔点熔丝连接。而在混合级和板级产品上，则采用厚膜激光平衡、平衡域和数字电位器等温度平衡方法。一种基于微机电系统(MEMS)精密电阻器对于高精密系统温度平衡提供了一种非常高的稳定方法。

　　Microbridge Technologies公司的Rejustor 微型电阻器内含有一个微型隔膜(或隔膜)，隔膜悬浮在底层硅片被蚀刻的凹坑上，在可传导的、散热的多晶硅隔膜上有一电微型加热装置。悬浮的微型加热器覆盖在一个气穴上，为微型结构提供非常高绝热性能，同时允许微型加热器产生非常高的温度，如800～1000℃，在非常低的能耗下，对周围电流不会产生影响。这种微型结构具有非常低的热惯性和高隔热能力，允许其快速加热。

　　专门开发的软硬件技术提供高精密电气设计，这可使得每百万分之一英寸上安装5～20个部件或在悬浮的微型结构上有更佳的电阻性能。典型的工业生产检测设备在硅片探测、最终包装测试，和/或在电路板级检测需要Rejustor进行温度平衡。这两种技术均不需采用昂贵的激光温度平衡设备。

　　通过采用校准电路，Rejustor的 TCR对于可平衡和不可平衡单位为0 ± 100 ppm/K，温度系数的变化在± 0 ppm/K范围内。这种设计提供非常稳定的TCR在整个温度平衡范围内，对于大约为200Ω~1MΩ的电阻值，可降低了电阻标称值温度平衡点 0%幅度。单位绝对调整精度达0.01%。