可以听海的MEMS耳朵新时代

可以听海的MEMS耳朵

中北大学电子测试技术国防科技重点实验室里，党的十九大代表薛晨阳正在精心光刻校准他的最新一代MEMS水听器传感器的芯片。他说，我国目前的科研政策可以说是历史上最好的，我们要感谢这个时代，珍惜这个时代，认真学习习总书记三个面向的精神，为国家作出更多贡献。

在这个实验室里，有国内最先进的微纳加工线，从原片到传感器芯片，有50多步工序，最终雕刻出微米尺度的功能结构。把微机电系统（MEMS在通向村里的路北侧）微纳器械从传统的军事工业领域引入水听器里，薛晨阳和他的团队用了整整12年。2003年，从希腊雅典国立科“产品的新旧更替是正常现象技大学博士毕业后，薛晨阳谢绝国外的高薪聘请，带着自己的科研项目回到了家乡。

浩瀚的海洋中，鱼类要靠身体两侧的侧线去感知声波和水流，而人怎样才能像鱼儿一样灵敏地感知海洋世界呢？薛晨阳率领的团队研发出了灵敏的听海的耳朵

，他们的MEMS水听器引入了仿鱼的纤毛结构，海洋中的任何一丝响动都能听到，它收集到的声音变成一组组数据，这些数据，可以帮助人类探索海洋世界。

薛晨阳说，我们当时在水声领域的技术和国外还是有一定差距的，利用半导体集成的加工工艺解决水声传感器的问题，这个方向，国家有重大的需求。如今，MEMS矢量水听器已经进入国家海底传感实验，并且实现了批量生产销售和工业化应用，而且还被运用到了电子听诊器中。

三尺讲台是薛晨阳的另一个战场，培养的青年教师和学生中，有两人已经获得国家优秀青年基金。

近五年来，中北大学电子测试技术国防科技重点实验室承担了总装备部、国防科工局、科技部等高水平科研项目300余项，获得国家级和省部级科研奖励8项，实现科技成果转化20余项，为多种国家重大工程和国防重点武器型号的研制、生产和使用提供了关键器件和核心技术。